Зосередьтеся на спеціальній газовій промисловості

Електронні гази включають електронні спеціальні гази та електронні масові гази.Вони є незамінними та ключовими матеріалами у процесі виробництва інтегральних схем, панелей дисплеїв, напівпровідникового освітлення, фотоелектричної та інших галузей промисловості.Електронні спеціальні гази є необхідними допоміжними матеріалами для виробництва інтегральних схем.Вони широко використовуються у фотолітографії, травленні, формуванні плівки, очищенні, легуванні, осадженні та інших ланках процесу.Вони пред'являють високі вимоги до чистоти, стабільності, пакувальних контейнерів тощо, відомих як «їжа» і «кров» напівпровідникової промисловості.Виробництво інтегрованих схем включає тисячі процесів, які є надзвичайно складними та вимагають використання сотень електронних спеціальних газів.У виробництві інтегральних схем електронні гази можна розділити на легуючі гази, гази для іонної імплантації, гази для очищення, гази для травлення та гази для фотолітографії відповідно до різних процесів;електронні гази широко застосовуються і пред'являють високі технічні вимоги.Джерела та системи їх постачання мають високі вимоги.Чистота газу є основним параметром спеціальних газових продуктів, для яких потрібні надчисті та надчисті.Ультрачистий вимагає, щоб чистота газу досягала 4,5N, 5N або навіть 6N або 7N.Кожного разу, коли чистота збільшується на один N і кожного разу, коли концентрація частинок і металевих домішок зменшується на один порядок, чистота газу зростатиме на один порядок.Значні покращення складності та труднощів процесу.Для змішаного газу точність пропорції є основним параметром.Зі збільшенням кількості компонентів продукту та підвищенням точності підготовки постачальники газу часто вимагають виконувати точні операції з газовими компонентами з різноманітними концентраціями ppm або навіть ppb.